微區(qū)X射線熒光光譜分析技術(shù)是對不均勻樣品、不規(guī)則樣品、甚至小件樣品和包裹物進(jìn)行高靈敏度的、非破壞性的元素分析的方法。

M4 TORNADO采用了全新的技術(shù)，為各種用戶提供了佳的分析性能和非常方便的操控性。
采用多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡，照射光斑小，空間分辨率高。
渦輪增速X-Y-Z樣品臺，借助放大倍數(shù)可變的攝像系統(tǒng)獲得的樣品影像，可在“飛行中”進(jìn)行元素分布分析。
高強(qiáng)度的X射線光管與多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦鏡相結(jié)合，確保在非常小的照射區(qū)域內(nèi)獲得非常高的激發(fā)強(qiáng)度。采用濾光片和可以同時(shí)使用的配有不同靶材的雙光管，可以根據(jù)不同的分析要求，優(yōu)化激發(fā)光譜。
使用XFlash?探測器速地獲取樣品圖譜，另外，使用多個(gè)探測器可以進(jìn)一步提高測量速度。
采用無標(biāo)樣分析法定量分析塊狀樣品，分析多層膜樣品。
可抽真空的樣品室配有自動門，大尺寸的樣品室可以放置各種尺寸的樣品。通過兩個(gè)放大倍數(shù)可變的攝像系統(tǒng)觀察樣品（整體觀察和分析區(qū)域的細(xì)致觀察），便捷進(jìn)樣功能和自動對焦功能可以進(jìn)行快速而的定位。通過用戶編輯的X-Y-Z樣品臺運(yùn)行程序可實(shí)現(xiàn)重復(fù)測量。