常熟拋光機(jī) 鋁板拋光機(jī)伺服配置 

拋光機(jī)伺服加載系統(tǒng)控制

在鏈條雙面拋光機(jī)中,氣動(dòng)加載系統(tǒng)要求對(duì)加載在工件上的拋光壓力進(jìn)行控制,從而保證拋光質(zhì)量。為了達(dá)到這一要求,提出了氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)并引入特殊設(shè)計(jì)的氣動(dòng)數(shù)字伺服閥。同時(shí)對(duì)氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)學(xué)建和模塊化分析,后進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。表明氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。

雙面拋光機(jī)伺服加載系統(tǒng)

在雙面拋光機(jī)中,氣動(dòng)加載系統(tǒng)要求對(duì)加載在工件上的拋光壓力進(jìn)行控制,從而保證拋光質(zhì)量。為了達(dá)到這一要求,提出了氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)并引入特殊設(shè)計(jì)的氣動(dòng)數(shù)字伺服閥。同時(shí)對(duì)氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)學(xué)建和模塊化分析,后進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。表明氣動(dòng)伺服加載系統(tǒng)能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。

常熟拋光機(jī) 鋁板拋光機(jī)伺服配置